关键要点
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介绍了一种便携式光学表面三维形貌在线检测仪，可用于超精密加工元件的高精度在线检测。
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该仪器采用了干涉显微测量方法，并且各系统高度集成，提高了抗振动和抗气流扰动的能力。
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使用背测式结构，打破了对被测元件口径的限制，可以实现对大口径光学元件表面的检测。
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该仪器使用移相算法和独立软件，保证了亚纳米量级的测量精度和高效的检测效率。
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该仪器具有灵活性强、功能性强、稳定性好、成本低、效率高等特点，适用于微电子、光学和机械等领域的超精密加工元件的高精度在线检测。
便携式光学表面三维形貌在线检测仪的设计与应用
这一章节介绍了一个名为“便携式光学表面三维形貌在线检测仪”的科技发明制作A类作品。它采用了干涉显微测量方法，可以用于生产车间在线检测半导体晶元、LED蓝宝石衬底等超精密加工元件的表面微观三维形貌及粗糙度。该仪器各系统高度集成，使用背测式结构，使用移相算法和独立软件，保证了亚纳米量级的测量精度和高效的检测效率。该作品适用于微电子、光学和机械等领域超精密加工元件的高精度在线检测。